原标题：衍射光学器件与湿法设備

衍射光学是基于光的衍射原理利用计算机设计衍射图，并通过微电子加工技术在光学材料只做表面浮雕的元件由于衍射光学元件及其灵活的控制波前，集多功能与一体和可复制的优良特性视光学系统及器件向轻型化微型化和集成化发展。到了90年代至今衍射光学元件的研究已成为光学界的前沿工作。

随着衍射光学元件应用领域的拓展大面积衍射元件的需求越来越多。湿法刻蚀技术是低成本制作特征尺寸及宽深比较大衍射光学元件较好的方法之一特别在解决大口径元件的刻蚀均匀性方面具有很大优势。

衍射光学自身具有许多优点使得它广泛地应用于各种光学系统或微光机电系统中各种衍射光学元件目前已成为光通讯和光互联中的关键元件，对它们的性能分析和設计具有重要的理论意义和应用价值与传统折反射光学元件比较，衍射光学元件（DOE）的光学处理功能非常灵活DOE可以在极小的体积内，集成多种光学功能于一体产生传统光学难以实现的各种光场分布。

针对衍射光学元件的湿法刻蚀工艺华林科纳研究了湿法刻蚀的化学機理，摸索了相关的规律得到了有效控制刻蚀速率的方法，不同腐蚀条件下所对应的刻蚀速率为基于工艺条件的优化设计方法提供依據，得到了制作工艺中的加工依据公司具备独立的设计、制造及应用技术，能够为客户提供从咨询、设计、到制造的专业化、定制化整體解决方案