&北京星微自动化科技有限公司 联系人：樊振华&& 电话& & QQ& ABLS系列运动平台是星微科技一款面向高精度、高端应用市场的气浮直线平台。凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化，采用非接触的气浮轴承与磁预载的结构，实现无摩擦的平滑运动，使ABLS系统运动平台达到微米~纳米的定位精度及重复定位精度。 &&& ABLS系列运动平台主要构成部分，包括底座、导轨、气浮滑块和顶板等，采用直线电机驱动。定位平台的悬浮工作原理是在供气孔道中通入一定气压的压缩空气，气体经过节流孔在气浮滑块与导轨、底座的相对面中形成&10&m&左右的气膜并产生一定的悬浮力,气膜支撑气浮滑块与顶板组成的滑台作一维直线运动，当悬浮力与实验平台重量平衡时，这个运动平台处于稳定悬浮状态。当作为系统负载的气浮滑块发生变化或者有外界干扰时,系统本身通过改变气浮滑块与导轨之间的缝隙量改变悬浮力达到重新平衡；具有一定的自主调节能力,气膜支撑气浮滑块与顶板组成的滑台作一维直线运动。 &&&&&&& 滑台由气浮导轨和顶板组成，是作为精密定位的部件，承载需要作精密定位的零件或工具，并且光栅尺的读头也安装在顶板的侧面，通过利用三维建模软件Pro/E的参数化造型方法构造零件的三维模型，通过对三维零部件结构特征的修改，使机构的空间布局合理，以满足装配、制造等方面的要求。然后对平台进行静力学和动力学分析，以寻求最佳设计参数的组合，进行有限元的模态分析，校核其动态刚度，并分析相关参数对结构刚度的影响，最终使超精密气浮定位平台满足动态刚度的要求。通过仿真分析和实验验证的方法研究小孔节流式静压空气轴承的几何参数对轴承性能的影响，得出轴承具有较高的承载能力、刚度和较小气体流量时各几何参数的合理比例，同时给出轴承设计和预测轴承内是否会出现超音速气流的简便方法。 &&& 气浮导轨是以气体为润滑剂支撑的导轨,具有高承载力、高刚度、高速度、高精度、无摩擦、无污染等优点,在精密机械中得到广泛的应用。气浮导轨作为气浮平台系统关键部件,其承载能力、刚度、稳定性与导轨结构,如节流孔直径、节流器分布、气膜厚度等密切相关。 &&& ABLS系列运动平台采用U型槽式直线电机驱动，这种电机结构简单，定位精度高，反应速度快、灵敏度高，随动性好，可以实现无接触传递力，机械摩擦损耗几乎为零，所以故障少，免维修，因而工作安全可靠、寿命长，结合高分辨率海德汉光栅尺以及PID闭环智能控制技术，ABLS系列运动平台最大加速度可以达到2G，最大速度2M/s，最高精度0.3uM。 &&&&ABLS系列运动平台为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC&封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台，在先进的电子制造设备比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构。此外，在还可作为微型机电系统的制造和检测、光学测量加工领域、超精密机械加工、航空发动机测量制造等精密定位的理想选择。本产品网址：/b2b/fanzhenhua168/sell/itemid-.html磁悬浮直线电机+光栅尺定位（或磁栅尺/容栅尺）做3轴运动平台肯定不错，谁了解价格? 可DIY (amoBBS 阿莫电子论坛) - wangguanfu 磁悬浮直线电机+光栅尺定位（或磁栅尺/容栅尺）做3轴运动平台肯定不错，谁了解价格? 可DIY 磁悬浮直线电机和光栅尺价格几何？ ----------------------------------------- 以下说明由站长阿莫加入： 网友上传了一些有关的资料，请到16、17楼下载。 乐普科的机器是用一个气垫来解决的，Z轴和PCB保持一定的压力，通过测量压力来调整Z轴以达到贴合的目的。 直线电机其实就是几组线包和磁钢组成，材料费其实很便宜。问题是和它配套的驱动部分很贵。 光栅尺国外的么海德汉的，价格贵的要死，东西是很好，分透射和反射，材料有玻璃和不锈钢的。国内的光栅尺精度稍差，但是价格便宜。 我也来看看 【40楼】&Friendz&&...或者用双面胶把板子贴到一个非常平整的板子上，压紧一段时间再雕刻。& 我用针和线把覆铜板缝在平板之上. 【25楼】&armok&阿莫 这个不是很容易搞的，想想：这是台雕刻机，不是绘图机；雕刻后的粉尘、渣子会影响结果，使结果变高；已经雕刻的部分会使结果变低；高高低低无穷尽也，还是用一个标准的方框模板把PCB压住，或者用双面胶把板子贴到一个非常平整的板子上，压紧一段时间再雕刻。 我的意见还是：雕刻机钻孔、开槽、铣边水平一流，铜箔还是交给化学的方法为佳。 直线电机很贵吗?O.O,不说还真不知道,前段时间有报道说,广州地铁新的列车就是用直线电机的,那不是天价列车? 这个题目的贴子太分散了，建议集中一下。 关键的困难在于：板材翘曲，突起部分是有弹性的，在刀的作用下，会压下去。而下去多少又难预测。 从这一点出发，倒不妨顺着【30楼】&af00&的思路想下去。 “要不，你在雕头增加个3点万向滑动预压轮，这样可以压平压紧弹翘的PCB,保证效果一流。” wangguanfu PCB雕刻前用上图方案先扫描就可获得整个平面相对高度做补偿（锡膏厚度检测仪就是这样的，um级精度！！！） 本贴被 wangguanfu 编辑过,最后修改时间：,12:20:24. 国产容栅尺只有2-3c&的准确度.&本打算把容栅尺作cnc的反馈, 但我的国产容栅尺,&间中出现几十c&的差误.&只怕铣到一半,& wangguanfu /bbs_upload782111/files_11/ourdev_574643.jpg &(原文件名:未命名.jpg)& 使用直流伺服电机比上面的方案都要简单如下面 【29楼】&lenyufh& 29楼的方案和我的第二个方案一样的，不过要在机械上保证测头和Z轴刀尽可能的靠近。 【30楼】&af00& 30楼的建议只能把PCB板压紧，不过没考虑到PCB板本身的厚度不均匀，我测过PCB板，有些板子的厚度还是变化很大的。 谢谢大家的意见。 看来这真的是一个值得好好研究的问题。&到这个开源活动时，我们再详细探讨。 【28楼】&armok&阿莫 工业上测量这种小量程的凸凹时通常采用触头式的光栅测微传感器，而PCB板的弯曲情况虽然是不均匀的，但应该不是那种凸凹变化很剧烈的，我们需要修正的应该很缓慢变化的凸凹，所以，我提两个参考方案： 1、在雕刻前先不下刀，先在XY轴走几个来回，只使用测微传感器测量一下PCB板的凸凹数据，并把这个数据记录下来，然后根据这个测量结果确定Z轴的下刀量，这个挺麻烦的，不过也不需要多花很长时间，足够测量PCB板上的那种缓慢凸凹变化了。 2、把测微传感器和Z轴的刀尽可能的靠近，可以从机械方面好好考虑一下，应该可以做到的，然后不考虑传感器和Z轴刀之间的距离，直接在雕刻时根据测微传感器反馈结果确定进刀量，这个和枪上的瞄准器与枪管并不在同一直线上类似，并不适用于小PCB板，不过小PCB板的凸凹应该可以不用考虑的。 我只能说是可行性的建议，两个方案的确都麻烦了点，都要增加一个传感器的成本，不过我觉得还是可行的，我倾向于第二种方案，阿莫老大_参考一下。 【28楼】&armok&阿莫 要不，你在雕头增加个3点万向滑动预压轮，这样可以压平压紧弹翘的PCB,保证效果一流 设定好取样测头和刀尖的相对位置，让Z轴实时跟随取样的变化，取样检测的位置围在刀的四周，越靠近越准确 本贴被 lenyufh 编辑过,最后修改时间：,10:15:41. 【27楼】&cndongj&, 谢谢你的资料。 有个疑问是：PCB的弯曲情况是不均匀的。如果实时判断？&即雕刻机的Z轴已经下刀，并且已经进行XY轴的移动进行雕刻工作，这时如何探测Z轴的应该准确的下刀深度？ 【25楼】&armok&阿莫 您所说的问题，我倒是可以提供一个思路，如果测量一个平面，建议先使用一个触头式的光栅微型传感器测量平面的凸凹，然后根据这个测量反馈确定Z轴进刀量，这个是可以很容易做到的，精度绝对可以保证，不过要保证这个平面的稳定性，不能有弹性，不能一下刀就变形了，还有增加一个传感器的成本。 阿莫老大，你所说的Easson&ES-8光栅尺是怡信生产的光栅尺，它们也是一家产量很大的公司，在国内也排得上号的，至于使用什么部件？其实国内厂家生产的光栅尺的原理和结构都差不多，主要电子元件都不过是些红外发射、接收管，比较器等等，有时如果需要1um分辨率的时候还要加放大器、细分芯片等等，其实光栅尺的主要部件是中间的那根有光栅条纹的玻璃条。 国产光栅尺比起德国光栅尺的原理和结构都差一大截，不过我们应该理解，国产的主要是要求可靠、结实耐用、价格便宜，而人家德国的首先要求精度和速度，侧重点不同啊，所以外国的光栅尺可以很可靠的接精密数控系统，而目前国产的还很难做到这一点。 我们公司的联系方式：长春光机数显技术有限责任公司&&销售部电话：2--31- 阿莫如果有需要可以打这个电话联系我，2-8005，很高兴能为阿莫的项目出份力。 【24楼】&cndongj&&, 我们的雕刻机将有另一个开源设计活动：&Z向实时补偿，保证刀具切入基采一致性,克服由于板材翘曲而产生的局部刻的深或者浅的问题&。 有什么好的思路或部件提供？ 谢谢16楼的资料，不过真的不希望看到大家走弯路，光电鼠标的原理也许可以测量出最小um的位移，但绝对是不可能替代光栅传感器等精密测量传感器的，容栅传感器的精度是低于光栅传感器的，而且抗干扰性能也不好，磁栅的精度也低于光栅传感器，而且国产的磁栅、容栅的性能都不是很稳定，有很多客户找我们都是为了用光栅传感器替代磁栅或容栅传感器的，目前在机床领域使用的传感器里绝大多数都是光栅的，这本身就能说明问题了。 我们的旭正机床上使用的是Easson&ES-8光栅尺。感觉很稳定可靠。 知道它是使用什么品牌的部件？ cndongj&能将你们厂的一些资料与联系方式传上来吧？&做到这个开源项目时，如果合适，我们可以考虑使用贵厂的部件。 光电鼠是不错的想法，谢谢16楼资料 直线电机？那东西可真的是天价，直线电机加光栅尺一套下来没几万元是下不来的，不过光栅尺倒是很便宜的，特别是现在，光栅尺的价格已经比前些年下降很多了，建议大家就不要想着DIY光栅传感器了，现在的国产光栅尺的价钱大约只相当于进口光栅尺的十分之一左右。 至于阿莫所说的从台湾进口的光栅尺，我从来没听说过台湾有大量生产光栅尺的出名厂家，国内的厂家倒是知道一些，最好的光栅尺还是德国海德汉的，德国人的机械和光电技术的确是世界领先的，不过价钱吗，当然也是天价的。 所以给大家两个建议： 1、光栅尺这东西不值得费力DIY的，便宜的光栅尺只需要几百元而已，光电鼠标的原理不适合做精密测量，就不要在这方面费精力了。 2、如果不是接精密数控系统，完全可以使用国内生产的光栅尺，只要是国内大厂家生产的光栅尺，光栅尺的精度还是有保证的，据我所知通常大厂出厂前都是有精度检测的。 如果阿莫想采购光栅尺，不知我们公司生产的光栅尺能不能满足阿莫的要求？不知大家需要的光栅尺的精度要求多少？长度是多长？最高运动速度是多少？ xiaobendan 我解读过光电鼠的信号，精度很差，从A到B点再回到A点，数字不是0，差很多，移动很慢也是一样，或许是我的程序有问题？ 谢谢【16楼】&armfans&。&帖子COOL&! 点击此处下载&ourdev_574043.pdf(文件大小:95K)&(原文件名:A9620.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574044.pdf(文件大小:173K)&(原文件名:AEDS9640.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574045.pdf(文件大小:120K)&(原文件名:高速计数模块和光栅尺在高精度加工中的应用.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574046.pdf(文件大小:3.35M)&(原文件名:exposedlinear光栅尺.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574047.pdf(文件大小:122K)&(原文件名:光电码盘四倍频分析.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574048.pdf(文件大小:65K)&(原文件名:用于光电编码器的四倍频测量电路.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574023.pdf(文件大小:278K)&(原文件名:EN.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574024.pdf(文件大小:2.94M)&(原文件名:EN.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574025.pdf(文件大小:599K)&(原文件名:A2051.pdf)& 点击此处下载&ourdev_574026.pdf(文件大小:1.27M)&(原文件名:A6010.pdf)& 一些光电鼠标芯片的资料 wangguanfu 西门子早期的置件机就是普通伺服电机皮带传动加光栅尺定位 铣床用的光栅尺，便宜的据说几百元就有。台湾进口的好像是1800元左右。精度应该是比较高，达到5u. liangwh311 普通伺服电机也可以做全闭环. 再补充下，现在的光栅尺不是很贵，几百就可以搞定，而且精度还不错，看咱们的雕刻机的精度如何了，如果精度低可能还会便宜。 给大家个建议，用光电鼠标芯片，光电鼠标是采集图像然后由内部的dsp比较前后2个时间采集图像，精度达到um级，移动速度大概20m/s,而且也不用光栅，成品低廉，如果是激光鼠标，速度效果更好，有些资料不过在家呢，晚上找到的话发上来，以前就有想法把鼠标改成微位移传感器. 参考一下这个线路/caliper/& 用12c509,&买一把容栅尺,&150圆左右.& 这个线路只管一轴,&如用于三轴,&最好自行改一下. wangguanfu 容栅尺如何？ wangguanfu 高精的买不起低精（相对高高高精密）好不行？ 你们知道喷墨打印机吧，还有人DIY&PCB&打印呢 里面基本都是用光栅尺定位 我正在想自己DIY旋转编码器，400线就够用了，加在步进电机的轴上，这样就和伺服差不多了，呵呵！ 直线电机更是天价！！！！！！！！！！！！！ 光栅是天价,&但不可以低估diy&的力量. 不买光栅,&自己造一个&Michelson&wavemeter.&精确度不比光栅差. 光学零件不多,&电子方面最简单用&dsPIC&中的&quadrature&来数波峰. 我一直认为cd-rom&零件中有很多有用的光学宝贝.&例如精密度达1um& 的移动平台,&光电组件,&马达,&三棱镜,&反射镜等等.&用这些零件去造一 个&Michelson&wavemeter&应该有足够零件. 利用平价的低压钠灯的黄光588.9950nm作光源. 这个将会是今年我夏季的实验玩意.& 楼主太天真了 wangguanfu 月光宝盒？描述一下 对我们来讲这些东西是月光宝盒。 又有人提起非接觸式激光位移計了, 我研究這東西好幾年了,就是鏡頭搞不定啊. 精度就無法上去. 這東西,洋貨要賣7W多.可換阿莫十多臺雕刻機了.上一些圖片學習學習吧. /bbs_upload782111/files_21/ourdev_499365.jpg (原文件名:lS1.jpg) /bbs_upload782111/files_21/ourdev_499366.jpg (原文件名:lS2.jpg) 雕刻机钻孔 liangwh311 磁悬浮直线电机+光栅尺定位（或磁栅尺/容栅尺）做3轴运动平台肯定不错 这些东西做出来的系统也不见得就很好。最多就是能保证很好的重复性而已。 光学部分不是任何人都可以diy的。我玩过天文一段时间。就单是磨个反射镜片都要耗时很长时间。还必须用光栅来测试，然后不挺的磨不停的测试。 更何况这些三棱镜五棱镜。你自己去磨？人家都是用机器磨的。外边卖1个镜头多少钱？想想。光学部分还是算了。有成品散件就没买成品的吧 支持，顶上去！ 直线电机+光栅反馈+驱动& &估计离2W不远了 /bbs_upload782111/files_25/ourdev_532629.jpg (原文件名:直线电机.jpg) /bbs_upload782111/files_25/ourdev_532630.jpg (原文件名:光栅.jpg) ◆简单高性能的直线定位系统 ◆经济、灵活的承载板搭配 ◆简单的组装过程 ◆尺寸全面的标准产品 ◆灵活的光栅搭配 ◆多样的外观选择 ◆电缆跟随线圈移动 ◆电缆长度1-15M ◆超强的电缆强度 & & 高速，速度可达4－6米/秒； & & 高加速度，加速度可达10G； & & 高精度，重复定位可达0.5μm; & & 高度灵活性,易搭建各种多轴平台; flybird2010 查看完整版本:10年高端精密传动部件产品专业供应商致力打造精密机械传动行业第1品牌 智赢服务热线：400-870-0162 　　热门关键词： 当前位置： & &产品特点& & ◆直线电机直接驱动，高响应、高加减速、高定位精度、高可靠度、零磨擦 & & & ◆采用CSK直线导轨，精度高、寿命长、摩擦小、运行平稳 　平台规格LMA2L-PDA 　峰值推力(N) 　X轴：463 ; Y轴：1108 　最大加速度(m/s2) 　10(有效载荷) 　持续推力(N) 　X轴：116 ; Y轴：277 　定位精度(&m) 　&3(补偿后) 　行程(mm) 　X轴：500 ; Y轴：500 　X-Y相互垂直度(arc-sec) 　黑色阳极处理 　限位开关 　选配(光電开关) 　基座材质 　铸铁/铝镁合金 　反复定位精度(&m) 　平台重量(kg) 　额定载荷(kg) 　平台放置方式 　最大速度(m/s) 　1 (有效载荷) 　润滑方式 　锂基润滑脂 记录总数：13 | 页数：2 产品简介:◆ 适用于高精度、高速度运动系统 ◆ 峰值推力可达到384N～1536N ◆ 连续推力51N～204N ◆ 理想的高精度及运行平滑性 产品简介:◆附有编码器 ◆适用于Z轴 ◆可切换控制模式 产品简介:◆ 紧凑，高刚性设计 ◆ 大间隙，便于安装 ◆ 适用于高精度直线运动系统 ◆ 无接触，无齿槽效应， 运动平滑 ◆ 高效率，大推力 产品简介:◆ 紧凑，高刚性设计 ◆ 大间隙，便于安装 ◆ 适用于高精度直线运动系统 ◆ 无接触，无齿槽效应， 运动平滑 ◆ 高效率，大推力 产品简介:◆ 直接驱动设计 高强度铝型材 分辨率10μm、3μm、5μm、1μm，0.5μm、0.1μm，50nm，20nm，5nm，2.5nm、1.22nm