论文的文献综述怎么写里用了常见材料的介电常数表,参考文献应该怎么写?

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超低介电常数材料纳米多孔SiO2和SiO2:F薄膜的制备及其物性研究.pdf150页
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博士学位论文
超低介电常数材料纳米多孔SiO ,2 和SiO ,2 :F薄膜的制备及
其物性研究
姓名:何志巍
申请学位级别:博士
专业:凝聚态物理
指导教师:王印月
兰州人学研究生学位论文
自从1947年晶体管发明以及1958年第一个集成电路诞生以来,以硅基集成
电路为核心的微电子技术取得了飞速发展,传统热生长法生长的Si0:作为金属
互连线间的绝缘介质,己远远不能满足需求,以此为背景的低介电常数材料成为
当今微电子领域的研究热点。通过对各种候选材料物性及制备方法的综合分析,
本文选取以溶胶一凝胶法为基础的介电常数低、与现有工艺兼容的纳米多孔Si
作为研究对象,系统地研究了其制备、微结构、化学键和电学等方面性质,获得
了许多新的突破,并提出一种掺氟的新方法。
第一、用溶胶一凝胶法结合旋涂技术,制备纳米多孔Si0。薄膜。首次利用两
次改性解决了薄膜容易开裂的问题,并比较性地研究了溶胶、凝胶以及薄膜的性
质。SEM和AFM表明,薄膜内孔径在70一80nm,已形成较好的三维网络结构。FTIR
指出,两次改性及正己烷清洗明显改善了薄膜的结构和电学性质,其介电常数约
为2.0,漏电流密度仅为l_5×10~A/cmz,击穿场强高达1.9MV/cm。
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写论文时引用的几篇英文文献是优先网络发表的,还没有正式的卷,期和页码。参考文献应该怎么写?
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低介电常数材料论文--低介电常数材料的特点、分类及应用
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毕业论文中未直接引用,参考文献也要写的话,怎么写啊,论文中要不要标注,在哪表注?
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