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振动热循环空间模拟辐照环境对SiC反射镜性能影响
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内容提示:振动热循环空间模拟辐照环境对SiC反射镜性能影响,振动,影响,模拟,热循环,辐照环境对,反射镜性能,反射镜,SiC反射镜,SiC,布拉格反射镜,探照灯反射镜,球面反射镜,太阳能反射镜,半反射镜,汽车前灯反射镜,电流反射镜,部分反射镜,激光反射镜
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钢基表面磁控溅射法CSIC双层薄膜制备研究(精品论文)
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【交流】社区医生有可能在SIC上发表文章吗?
【交流】社区医生有可能在SIC上发表文章吗?
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这个帖子发布于6年零2天前,其中的信息可能已发生改变或有所发展。
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sunjianzuibang edited on
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很有想法!有想法并付诸实践=============SCI!
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多来论文版参与讨论,分享经验,一定会成功的!
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SIC是没有可能的。SCI倒可以一试!
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coss9989 wrote:SIC是没有可能的。SCI倒可以一试! 纯属失误主要是想万一没有大学为依托,也没有高学历,不会受理什么的
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你有好的idea是最重要的,英雄不论出处。当然,你的单位牌子在一定程度上会有所影响,但这不是主要的因素。
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李宁:一切皆有可能!
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SiC薄膜的低压化学气相外延生长及其微结构特性研究论文.pdf106页
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中国科学技术大学
博士学位论文
SiC薄膜的低压化学气相外延生长及其微结构特性研究
姓名:郑海务
申请学位级别:博士
专业:凝聚态物理
指导教师:傅竹西;李晓光
座机电话号码
SiC作为目前最热门的半导体材料之一,因其具有宽禁带、高击穿电场、高
载流子饱和漂移速率和高热导率等许多优点,在微电子领域有着广泛的应用前
景。本论文主要研究了在Si衬底、蓝宝石衬底和SiC衬底上外延生长SiC薄膜
的工艺技术和生长条件对SiC薄膜结晶质量的影响,取得了有意义的结果,其内
容有助于加深对SiC薄膜外延生长过程的理解。
第一章综述了SiC材料的基本性质以及SiC材料和器件的研究进展。包括
SiC的结构性质、物理化学性质、SiC块材单晶的发展历史和制备方法、SiC器
件工艺和典型的SiC器件。最后还介绍了制备SiC薄膜的主要方法,如升华法、
脉冲激光沉积、分子束外延和化学气相沉积等,指出化学气相沉积法是制备SiC
薄膜最成功的方法。
第二章介绍了我们设计和研制的国内第一台最高温度可达1600。C的低压
H2 ,根据复相反应模型建立了SiC薄膜生长的气相反应和表面反应的两步机制,
分析了SiC薄膜生长的物理化学过程。
第三章中我们研究了不同取向的单晶si衬底上外延SiC薄膜。对Si 111 衬
底,发现随着生长温度 1150
oc 的提高,外延层的结晶质量改善。由样
品的SEM截面图可知在生长温度从1150 oC时,
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