山东工商学院 学年论文题目： 题目：传感器技术的研究现状与发展趋势 姓名： 姓名： 学号： 学号： 专业： 专业： xxx 200905xxxx 电子信息工程 xxx指导老师： 指导老师：传感器技术的研究现状与发展趋势姓名 （山东工商学院 信息与电子工程学院，山东 烟台 264005）
摘要： 摘要传感器是高度自动化系统乃至现代尖端技术必不可少的一个关键组成部 分。传感器技术是世界各国竞相发展的高新技术，也是进入21世纪以来优先发 展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛，其研究和发 展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。本文首先介绍了传感器的基 本知识和传感器技术的发展历史。之后，综述了近几年高端前沿的光电传感器 技术和生物传感器技术的主要研究状况。最后，展望了现代传感器技术的发展 和应用前景。关键词： 关键词 传感器技术；传感器；研究现状 The Sensor Technology Current Research And Development TrendCHEN Cxxxx-xxx (School of Information and Electronic Engineering, Shandong Institute of Business and Technology, Yantai, 264005,China)Abstract: Sensor is an essential and critical component of highly automated systemand cutting-edge technology. Sensor Technique is what many developed countries are competing in. It is also one of the ten top technologies with priority in the 21st century. There are a large amount of areas of knowledge involved in Sensor Technique. Meanwhile, it also has been in close relation with the advance of other fields of technologies. This paper first introduces the basic knowledge of the Sensor and the history of the Sensor Technology .Then it summarizes the main investigation on Sensor Technique of Photoelectric Sensor and Biosensor in recent years .Last,it forecasts the development and future applied fields of the modern Sensor Technology.Key words: Sensor T S Current R trend-1-0 引言当今社会的发展，是信息化社会的发展，人们的社会活动将主要依靠对 信息资源的开发及获取、传输与处理。而传感器是获取自然领域中信息的主 要途径与手段，是现代科学的中枢神经系统。它是指那些对被测对象的某一 确定的信息具有感受(或响应)与检出功能，并使之按照一定规律转换成与之 对应的可输出信号的元器件或装置的总称。传感器处于研究对象与测控系统 的接口位置，一切科学研究和生产过程所要获取的信息都要通过它转换为容 易传输和处理的电信号。如果把计算机比喻为处理和识别信息的“大脑”，把 通信系统比喻为传递信息的“神经系统”，那么传感器就是感知和获取信息的 “感觉器官”。 传感器技术是现代科技的前沿技术，发展迅猛，同计算机技术与通信技 术一起被称为信息技术的三大支柱，许多国家已将传感器技术列为与通信技 术和计算机技术同等重要的位置。现代传感器技术具有巨大的应用潜力，拥 有广泛的开发空间，发展前景十分广阔。1．传感器的基本知识 ．1.1 传感器的定义和组成 广义地说，传感器是指将被测量转化为可感知或定量认识的信号的传感 器。从狭义方面讲，感受被测量，并按一定规律将其转化为同种或别种性质 的输出信号的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件、测量电路和辅助电 源四部分组成，其中敏感元件和转换元件可能合二为一，而有的传感器不需 要辅助电源。 1.2 传感器技术的基本特性 在测试过程中，要求传感器能感受到被测量的变化并将其不失真地转换 成容易测量的量。被测量有两种形式：一种是稳定的，称为静态信号；一种 是随着时间变化的，称为动态信号。由于输入量的状态不同，传感器的输入 特性也不同，因此，传感器的基本特性一般用静态特性和动态特性来描述。-2-衡量传感器的静态特性指标有线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和漂 移等。影响传感器的动态特性主要是传感器的固有因素，如温度传感器的热 惯性等，动态特性还与传感器输入量的变化形式有关。2．传感器技术的发展历史 ．传感器技术是在20世纪的中期才刚刚问世的。在那时，与计算机技术和 数字控制技术相比，传感技术的发展都落后于它们，不少先进的成果仍停留 在实验研究阶段，并没有投入到实际生产与广泛应用中，转化率比较低。在 国外，传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的，并 在早期多用于国家级项目的科研研发以及各国军事技术、航空航天领域的试 验研究。然而，随着各国机械工业、电子、计算机、自动化等相关信息化产 业的迅猛发展，以日本和欧美等西方国家为代表的传感器研发及其相关技术 产业的发展已在国际市场中逐步占有了重要的份额。 我国从20世纪60年代开始传感技术的研究与开发，经过从“六五”到“九 五”的国家攻关，在传感器研究开发、设计、制造、可靠性改进等方面获得长 足的进步，初步形成了传感器研究、开发、生产和应用的体系，并在数控机 床攻关中取得了一批可喜的、为世界瞩目的发明专利与工况监控系统或仪器 的成果。但从总体上讲，它还不能适应我国经济与科技的迅速发展，我国不 少传感器、信号处理和识别系统仍然依赖进口。同时，我国传感技术产品的 市场竞争力优势尚未形成，产品的改进与革新速度慢，生产与应用系统的创 新与改进少。3．传感器技术的研究现状 ．21世纪是迈向信息化社会的崭新阶段。其中，光电信息学与生物学的迅 猛发展已成为这一时期科学技术发展的重要标志，并最有机会寻求更大的突 破与飞跃。传感器技术作为一种与现代科学密切相关的新兴学科，在人类迈 向新世纪，步入信息化社会的关键阶段想要寻求空前迅速的发展，很大程度 上取决于传感器在这两个前沿领域中的深入研究与广泛应用。 在国外，光电传感器技术已广泛地运用到各国军事技术、航空航天、检-3-测技术以及车辆工程等诸多领域。例如，军事上，国外激光制导技术迅猛发 展，使导弹发射的精度和射中目标的准确性大幅度提高；美国在航空航天领 域，研制出了新型高精度高耐性红外测温传感器，使其在恶劣的环境中仍能 高精度测量出运行中的飞行器各部分温度；国外的城市交通管理也大多运用 电子红外光电传感器进行路段事故检测和故障排解的指挥；同时，国外现有 汽车中常装载有新型光电传感器，如激光防撞雷达、红外夜视装置、测量发 动机燃料特性、压力变化并用于导航的光纤陀螺等。 在国内，传感器行业发展迅速，传感器市场近些年一直持续增长，势头 良好，主要应用于工业制造、汽车产品、电子通讯和专用设备，其中工业制 造和汽车产品达到市场份额的三分之一。传感器给我国的迅速发展带来了无 限商机，西门子、霍尼韦尔、凯乐、横河等传感器大企业纷纷进入我国市场， 这为我国工业设备制造商和汽车制造业等传感器最终消费者带来了很大便 利，但也对国内传感器行业施加了很大压力。国内传感器产品存在的主要问 题是：品种少，质量较差；制造工艺技术相对落后；生产企业不掌握先进的 核心制造技术；高性能传感器的科研成果转化率较低。4．现代传感器技术的发展趋势和应用前景 ．对比传感器技术的发展历史与研究现状可以看出，随着科学技术的迅猛 发展以及相关条件的日趋成熟， 传感器技术逐渐受到了更多人士的高度重视。 当今传感器技术的研究与发展，特别是基于光电通信和生物学原理的新型传 感器技术的发展，已成为推动国家乃至世界信息化产业进步的重要标志与动 力。 由于传感器具有频率响应、阶跃响应等动态特性以及诸如漂移、重复性、 精确度、灵敏度、分辨率、线性度等静态特性，所以外界因素的改变与动荡 必然会造成传感器自身特性的不稳定，从而给其实际应用造成较大影响。这 就要求我们针对传感器的工作原理和结构，在不同场合对传感器规定相应的 基本要求，以最大程度优化其性能参数与指标，如高灵敏度、抗干扰的稳定 性、线性、容易调节、高精度、无迟滞性、工作寿命长、可重复性、抗老化、 高响应速率、抗环境影响、互换性、低成本、宽测量范围、小尺寸、重量轻-4-和高强度等。 同时，根据对国内外传感器技术的研究现状分析以及对传感器各性能参 数的理想化要求，现代传感器技术的发展趋势可以从四个方面分析与概括： 一是开发新材料的开发与应用；二是实现传感器集成化、多功能化及智能化； 三是实现传感技术硬件系统与元器件的微小型化；四是通过传感器与其它学 科的交叉整合，实现无线网络化。 4.1 新材料的开发、应用 材料是传感器技术的重要基础和前提，是传感器技术升级的重要支撑， 因而传感器技术的发展必然要求加大新材料的研制力度。事实上由于材料科 学的不断发展，传感器材料的不断得到更新，品种不断得到丰富，目前除传 统的半导体材料、陶瓷材料、光导材料、超导材料以外，新型的纳米材料的 诞生有利于传感器向微型方向发展，随着科学技术的不断进步将有更多的新 型材料诞生。 半导体材料在敏感技术中占有较大的技术优势，半导体传感器不仅灵敏 度高、响应速度快、体积小、质量轻，且便于实现集成化，在今后的一个时 期，仍占有主要地位。 以一定化学成分组成、经过成型及烧结的功能陶瓷材料，其最大的特点 是耐热性，在敏感技术发展中具有很大的潜力。 此外，采用功能金属、功能有机聚合物、非晶态材料、固体材料、薄膜 材料等，都可进一步提高传感器的产品质量及降低生产成本。 4.2 传感器的集成化、多功能化及智能化 传感器的集成化分为传感器本身的集成化和传感器与后续电路的集成 化。前者是在同一芯片上，或将众多同一类型的单个传感器件集成为一维线 型、二维阵列（面）型传感器，使传感器的检测参数由点到面到体多维图像 化，甚至能加上时序，变单参数检测为多参数检测；后者是将传感器与调理、 补偿等电路集成一体化，使传感器由单一的信号变换功能，扩展为兼有放大、 运算、干扰补偿等多功能―实现了横向和纵向的多功能。如日本丰田研究所-5-开发出同时检测Na+、K+ 和 H+ 等多种离子的传感器。这种传感器的芯片 尺寸为2.5mm×0.5mm，仅用一滴液体，如一滴血液，即可同时快速检测出其 中Na+、K+和H+的浓度，对医院临床非常方便实用。目前集成化传感主要使 用硅材料，它可以制作电路，又可制作磁敏、力敏、温敏、光敏和离子敏器 件。在制作敏感元件时要采用单硅的各向同性和各向异性腐蚀、等离子刻蚀、 离子注入等工艺，利用微机械加工技术在单晶硅上加工出各种弹性元件。当 今，发达国家正在把传感器与电路集成在一起进行研究。 智能化传感器是20世纪80年代末出现的另外一种涉及多种学科的新型传 感器系统。此类传感器系统一经问世即刻受到科研界的普遍重视，尤其在探 测器应用领域，如分布式实时探测、网络探测和多信号探测方面一直颇受欢 迎，产生的影响较大。智能化传感器是指那些装有微处理器的，不但能够执 行信息处理和信息存储， 而且还能够进行逻辑思考和结论判断的传感器系统。 这一类传感器就相当于是微型机与传感器的综合体一样，其主要组成部分包 括主传感器、辅助传感器及微型机的硬件设备。与传统的传感器相比，智能 化传感器具有以下优点： 1） 智能化传感器不但能够对信息进行处理、分析和调节，能够对所测的数 值及其误差进行补偿，而且还能够进行逻辑思考和结论判断，能够借助于一 览表对非线性信号进行线性化处理，借助于软件滤波器滤波数字信号。 2） 智能化传感器具有自诊断和自校准功能，可以用来检测工作环境。 3） 智能化传感器能够完成多传感器多参数混合测量，从而进一步拓宽了其 探测与应用领域，而微处理器的介入使得智能化传感器能够更加方便地对多 种信号进行实时处理。 4） 智能化传感器既能够很方便地实时处理所探测到的大量数据，也可以根 据需要将它们存储起来。 5） 智能化传感器备有一个数字式通信接口，通过此接口可以直接与其所属 计算机进行通信联络和交换信息。 智能化传感器无疑将会进一步扩展到化学、电磁、光学和核物理等研究-6-领域。可以预见，新兴的智能化传感器将会在关系到全人类国民生的各个领 域发挥越来越大作用。 4.3 传感器微小型化 为了能够与信息时代信息量激增、要求捕获和处理信息的能力日益增强 的技术发展趋势保持一致，对于传感器性能指标的要求越来越严格；与此同 时，传感器系统的操作友好性亦被提上了议事日程，因此还要求传感器必须 配有标准的输出模式； 而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求， 所以它们已逐步被各种不同类型的高性能微型传感器所取代；后者主要由硅 材料构成，具有体积小、重量轻、反应快、灵敏度高以及成本低等优点。 就当前技术发展现状来看，微型传感器已经对大量不同应用领域，如航 空、远距离探测、医疗及工业自动化等领域的信号探测系统产生了深远影响； 目前开发并进入实用阶段的微型传感器已可以用来测量各种物理量、化学量 和生物量，如位移、速度、加速度、压力、应力、应变、声、光、电、磁、 热、PH值、离子浓度及生物分子浓度等。 4.4 传感器的无线网络化 无线网络对我们来说并不陌生，比如手机，无线上网，电视机。传感器 对我们来说也不陌生，比如温度传感器。但是，把二者结合在起来，提出无 线传感器网络这个概念，却是近几年才发生的事情。这个网络的主要组成部 分就是一个个传感器节点。这些节点可以感受温度的高低、湿度的变化、压 力的增减、噪声的升降。更让人感兴趣的是，每一个节点都是一个可以进行 快速运算的微型计算机，它们将传感器收集到的信息转化成为数字信号，进 行编码，然后通过节点与节点之间自行建立的无线网络发送给具有更大处理 能力的服务器。 传感器网络是当前国际上备受关注的、由多学科高度交叉的新兴前沿研 究热点领域，被认为是将对二十一世纪产生巨大影响力的技术之一。无线传 感器网络有着十分广泛的应用前景它不仅在工业、农业、军事、环境、医疗 等传统领域有具有巨大的运用价值，在未来还将在许多新兴领域体现其优越-7-性，如家用、保健、交通等领域。我们可以大胆的预见，将来无线传感器网 络将无处不在，将完全融入我们的生活。比如微型传感器网最终可能将家用 电器、个人电脑和其他日常用品同互联网相连，实现远距离跟踪，家庭采用 无线传感器网络负责安全调控、节电等。 无线传感器网络是新兴的通信应用网络，其应用可以涉及到人类生活和 社会活动的所有领域。因此，无线传感器网络将是未来的一个无孔不入的十 分庞大的网络，需要各种技术支撑。结论传感器行业的发展已经进入了一个新的时代，网络传感器、生物传感器、 纳米传感器等更尖端的传感器已进入国内市场，进入我们的生活。当前技术 水平下的传感器系统正向着微小型化、智能化、多功能化和网络化的方向发 展。今后，随着CAD技术、MEMS 技术、信息理论及数据分析算法的继续向 前发展，未来的传感器系统必将变得更加微型化、综合化、多功能化、智能 化和系统化。我们有理由相信，传感器这颗璀璨的明珠，必将放射出更加耀 眼的光芒。参考文献[1] 刘梅.传感器技术――现代科技的开路先锋[J].中国科技信息, (18) . 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